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高精度程控匀胶机
简要描述:

高精度程控匀胶机型号:SYSC-100A
产品应用
(Spin Coater),又称为旋转涂膜仪,是一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。

  • 产品型号:SYSC-100A
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-02-27
  • 访  问  量:1896

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详细介绍

高精度程控匀胶机型号:SYSC-100A
一.    产品应用
SYSC-100A高精度程控匀胶机(Spin Coater),又称为旋转涂膜仪,是一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。
二.    产品特点
1.     旋转电机采用专为匀胶机设计的精密高速伺服电机,具有高精度、高稳定性、高可靠性。
2.     优异的旋转加速性能,Z大旋转加速度可达40000rpm/s(有负载的真实加速度)。
3.     两项安全互锁功能:
(1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能,确保腔体关闭后才可启动,防止匀胶过程中飞片造**身伤害;
(2) 真空吸片具有真空检测功能,若发生真空泄漏,基片无法吸附牢固,则立即停止运行。
4.     机身外壳采用SUS304不锈钢制作,防腐蚀、不生锈、易清洁。
5.     匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料,经CNC一体加工成型。接储脱离基片的胶液,避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。
6.     旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料,经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形。
7.     匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程Z多可分十段进行,每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序,随时调用。
8.     7英寸液晶触摸屏使控制更方便;运行状态及各项参数实时显示,更直观了解匀胶进程;
9.     真空泵的开启与关闭均为自动程序控制,无需手动操作。
10.   旋转前增加预吸片步骤,“预吸片时间"Z多为99s,确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤,“解吸片时间"Z多为99s,确保安全停止后再切断真空,释放基片,防止涂膜后的基片滑落,对膜层造成损伤。
11.   标配无油真空泵,低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台,防止飞片。
三.    技术参数
产品型号SYSC-100A
可镀膜基片尺寸?10~100mm
旋转速度10~8000rpm
转速分辨率1rpm
速度精度<0.02%
旋涂加速度*0~40000rpm/s
每段加速时间999.9s
每段旋涂时间9999.9s
时间分辨率0.1s
预吸片时间99s
解吸片时间99s

**大旋涂加速度为有负载条件下(使用≤?50mm基片)的真实加速度.








产品名称:身高体重测试仪
产品型号:SGT-A

身高体重测试仪 型號:SGT-A
本仪器是为测量身高、体重设计制造的,它以可靠的硬件设计和科学的软件技术相结合,采用MCS-51 单片微处理技术和高速、高精度A/D转换技术,实现身高和体重的自动测量。测量结果既可以显示和打印出来,又能与计算机通讯联网,把数据传给计算机,以实现进一步的处理,还特别设计了语音报告检测结果的功能.可广泛用于医院,学校,体检站等场合的身高,体重的测量

功能特点:
◆ 全自动测量,超声波技术测量身高(无触碰式),精密传感器测量体重,仪器功能丰富,操作简单。
◆ 检测数据数码(LED)显示,直观清晰,语音自动报告检测结果
◆ 串行数据传输功能,使与之相连的计算机能够随时掌握测量情况
◆ 特别设计的校准程序使仪器校准操作十分容易
◆ 高速热敏打印,电脑自动计算身高体重指数(BMI)
技术参数:
◆ 测量范围:体 重:5-200kg 分度值:0.1kg
◆ 身高:80-195cm 分度值:0.1cm
◆ 测量精度:体 重:III级称±0.1kg 身 高:±0.1cm
◆ 整机重量:≤36kg
◆ 机身高度:240cm
◆ 操作电压:AC160-250V



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