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| 被测气体 Gas Detected | 硅烷（SiH4） | ||
| 检测原理 Detection principle | 电化学原理 | ||
| 采样方式Sampling Method | 泵吸式，流量可达1L/min，泵的吸力大小有十个档位可调 | ||
| 量程 Measure Range | 0-10ppm、0-20ppm、0-50ppm、0-100ppm （量程可选，未列出量程可订制） | ||
| 分 辨 率 Resolution | 0.01ppm | ||
| 精度 Precision | 2%FS | ||
| 信号输出 Signal Output | USB接口高速数据传输，可下载打印数据（可?。?/font> | ||
| 响应时间 Response Time | ≤10S | 恢复时间 Recovery Time | ≤10S |
| 重 复 性 Repeatability | ≤±1% | 线性误差 Linearity error | ≤±1% |
| 零点漂移 Zero shift | ≤±1%（F.S/年） | 显示技术 Display | 液晶点阵显示技术 |
| 操作语言Operating language | 支持中英文 | 气体单位 Gas unit | 支持多个气体单位切换显示 |
| 工作温度 Temperature | -40℃～70℃ | 工作湿度 Humidity | 0-95%RH |
| 防爆等级 Explosion-Proof | ExiaⅡCT4 | 防 护Degree of protection | IP66 |
| 报警方式 Alarm mode | 声、光、振动 | 工作时间Operating time | 100小时（关泵） |
| 尺寸Dimensions | 205*75*32mm | 重量 Weight | 300g |
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